洁净室洁净度的检测及最少采样点的计算

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洁净室及相关受控环境

洁净室 洁净度 检测 测试 最少采样点 最小采样量 Excel公式

洁净度的检测应符合下列规定：

    1、应使用采样量大于1 l/min光学粒子计数器，应根据粒径鉴别能力、粒子浓度适用范围和计数效率等要求选用仪器。仪器应有有效的鉴定合格证书。

    2、最少采样点应按下式计算：

                                             N_L=A^0.5

式中：

    N_L——最少采样点；
      A——洁净室或被控洁净区的面积（㎡）。

    采样点应均匀分布在洁净室（区）的整个面积内，并应位于工作区的高度。

     3、每一采样点的每次采样量应按下式确定：

                                Vs=（20/Cn,m）×100

式中：

        Vs——每个采样点的每次采样量，以l表示，当Vs很大时，可使用顺序采样法。每个采样点的最小采样时间为1min，采样量应至少为2l；

    Cn,m——被测洁净室空气洁净度等级的被测粒径的限值（p/m³）。

        20——在规定被测粒径粒子的空气洁净度等级限值时，可测到的粒子颗数（颗）。

    4、当洁净室区仅有一个采样点时，则在该点应至少采样3次。

关于最少采样点：

    最少采样点等于洁净室面积的0.5次方，就是面积的平方根，我们可以借助Excel来计算，新建一个Excel工作表，表A1为洁净室面积，表B1为测点数计算结果，在表B2中输入“=POWER(A2,0.5)”，就是计算表A2中的数值的0.5次方，如下图所示：

    按以上步骤设置好后我们在A2中输入洁净室面积为5000㎡，那么B2得出的结果就是洁净室的最少采样点“71”点，也就是说在单个面积为5000㎡的洁净室中，其最少采样点应为71个。

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