洁净室(区)风量风速测试

ICCCS
洁净室及相关受控环境

    确认洁净室（区）是否符合要求的级别，最基本的测试应包括：

    1、空气洁净度等级；
    2、静压差；
    3、风速或风量。

    本文就洁净室风量或风速的测试做简要介绍：

    1、对于单向流洁净室，应采用截面风速和截面乘积的方法确定送风量，并应取离高效过滤器300mm垂直于气流的截面作为测试平面。应将测试平面分成相等的栅格，每个栅格尺寸应为600mm×600mm或末端空气过滤器尺寸，测点应在栅格中心或不应少于3点。每一点的测试时间不应少于10s。应记录平均值、最大值和最小值，并应以算术平均值作为平均风速。

    2、对于非单向流洁净室，每一测点的测试时间不应少于10s。

    3、在每个末端空气过滤器或散流器处，应采用风口法、风管法、风罩法等测量送风风速确定送风量，每个测试位置的测点数不应少于3点。

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