说明：
1、CLASS　5、6级洁净室采用FFU送风方式。
2、CLASS　7级洁净采用高效送风口方式。
3、CLASS　5、6级洁净室内空调通过组合式空调箱送至回风静压箱（吊顶上的技术夹层）。
4、CLASS 7级洁净室由组合式空调箱送至高效送风口。
5、非洁净区空调采用风机盘管。
6、送风管采用镀锌钢板制作而成，法兰连接，橡塑海绵保温。
7、空调冷冻水管、冷凝水管采用无缝钢管或镀锌钢管，橡塑海绵保温。
8、所有洁净区外管道保温采用铝板进行外包。

说明：
1、空调冷却水管、冷冻水管管径大于65时均采用无缝钢管，法兰连接；其余采用镀锌钢管，丝接。
2、空调冷冻水管、冷凝水排水采用橡塑保温套管进行保温，其余管道不保温。
3、所有机房管道及外露管道保温均采用铝板进行外包。

说明：
1、洁净室内送风末端均用高效过滤。
2、所有送、回风管均采用镀锌钢板制作，法兰连接；排风管采用不锈钢板制作。
3、除新风管外，所有风管均采用橡塑海绵保温。

说明：
1、CLASS　5、6级洁净室采用FFU送风方式。
2、CLASS　7级洁净采用高效送风口方式。
3、CLASS　5、6级洁净室内空调通过组合式空调箱送至回风静压箱（吊顶上的技术夹层）。
4、CLASS 7级洁净室由组合式空调箱送至高效送风口。
5、非洁净区空调采用风机盘管。
6、送风管采用镀锌钢板制作而成，法兰连接，橡塑海绵保温。
7、空调冷冻水管、冷凝水管采用无缝钢管或镀锌钢管，橡塑海绵保温。
8、所有洁净区外管道保温采用铝板进行外包。
9、与CP5313送风平面布置图相比，本方案CLASS　5级洁净室内未满布FFU，可节省一部分投资费用，但室内洁净度、气流平行度等参数不容易保证，特别是在动态下的空气参数不能保证。

说明：
1、回风孔板安装于侧墙上，表面喷涂颜色同彩钢板一致。
2、FINAL LINE 采用地板回风，空气通过回风夹墙回至回风静压箱（技术夹层）内。
3、除FINAL LINE 外，所有洁净室回风均通过安装于侧墙上的回风孔板回至回风通道。
4、回风管采用镀锌钢板制作而成，法兰连接，橡塑海绵保温。
5、所有洁净区外管道保温采用铝板进行外包。

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