科学实验和生产活动对洁净度的要求

关键词：洁净度 洁净室技术

摘要：现代化的科学实验和生产活动对空气洁净度的要求主要是由以下四点提出的：

一、加工的精密化

    现代化产品的加工已经进入到亚微米量级，而且在向更小的量级发展。

二、产品的微型化

    半导体元件越来越小，集成度越来越高。超大规模集成电路可在30mm*30mm的芯片上集成上亿个以上的元件。目前半导体集成电路的图形线距已小到0.1微米以下。

三、产品的高纯度（高质量）

    现代许多产品，其纯度已由过去认为很纯的“化学纯”时代进入了今天的“电子纯”或“超纯”时代。

四、产品的可靠性

    对于自动化、信息时代的产品，其高可靠性是现代技术发展的迫切需要，今天更要突破高安全性的需要。

五、结语

    在上述情况中，如果有微粒（固态或液态的）进入产品，这种微粒就可能构成障碍、短路、杂质源和潜在缺陷。以上四种要求越高，则允许存在于环境空气中的微粒数量就越少，也就是洁净度越高。因此洁净室技术已成为科学实验和生产活动现代化的标志之一。

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