洁净室的静电和静电的消除

ICCCS
洁净室及相关受控环境

摘要：

本文通过对静电的危害及起因简要介绍洁净室的静电和消除静电（防静电）的措施。

关键词：

洁净室 静电危害 起因 防静电 静电消除 措施

一、静电的危害

    1、静电产生电场能击穿电子和微电子产品造成废品；静电放电产生电磁波会引起电子仪器（计算机和控制设备）的误动作，放电产生火花可使感光材料曝光。

    2、洁净室内静电的带电体，灰尘会依附在其表面，成为洁净室的污染源，影响洁净室的洁净度。

    3、洁净室的静电聚集放电会诱发引起火灾和爆炸影响洁净室的安全。因为洁净室内生产会使用大量的易燃易爆的气体，溶剂和有机物，洁净室封闭性很强，人员疏散较困难造成火灾，损失更大。

二、静电的起因

    由于某种原因引起电荷移动，正负电荷失去平衡，这样物体就带有静电，造成电荷移动的因素主要有：

    1、接触带电——其中还包括有磨擦带电、滚动带电、剥离带电、喷射带电等。

    2、感应带电

    3、流动带电

    4、电晕带电

三、防静电措施 

    1、洁净室围护的防静电：即用高导电率材料来建造洁净室的围护（墙、顶、地）地面要采用由电阻值为104~106 Ω导静电材料或电阻值为106~109Ω的抗静电材料制作。主要有良好的接地。墙和顶要采用表面电阻值为106~108 Ω的铝蜂窝或岩棉彩钢板等金属材料制作。并要有良好的接地。

    2、人员的防静电：洁净室的作业人员要穿防静电的洁净工作服，在衣服的织物中加入金属纤维、碳素纤维等导电材料。必要时作业人员手腕上配带接地腕环。 [上图为洁净室内工作人员穿着带有导电PE带的鞋套]

    3、生产工艺允许时还可以用提高洁净室内空气的相对湿度的办法来消除静电。

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