1级洁净室在工程中的应用
An engineering application of class I cleanroom

张吉银 电子第十一设计研究院

文摘:本文从洁净室空调净化设计所采用的0.1μm无隔板超高效空气过滤器的性能、液槽密封装置、自动控制、防微振措施及测试效果等方面介绍了1级洁净室(美国联邦标准-209E对于0.1μm粒子,≤35.0粒/ft3)在工程中的应用情况.

关键词:洁净室设计,0.1μm超高效过滤器,自控,效果

1 概述
受原电子部某研究所委托．我院承担了国家下达的"8.5"院所技改项目研制开发线环境工程的设计，施工，安装，调试的工程总承包工作 1996年3月,基本完成设计和施工,系统开始运行．接着系统调试和工艺设备二次配管工作．1997年11月通过验收。经过三年时间的连续运行考验说明系统运行正常，性能可靠,各项指标满足工艺要求,为研制开发线创造了良好的环境条件,为我国白行研制和施工大面积高级别洁净室打下了基础。现将该工程有关的设计安装及其主要设施作一简要介绍。

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