摘要：无尘室的主要目的为维持室室内的温湿度、压力、流场、振动、噪音、照明等。因此，无尘室的空调系统对产品设计、制程、良率及可靠性有很大的影响。本文针对FFU(Fan Filter Unit)乱流型无尘室进行气流模拟分析，模拟之无尘室只有制程设备，无人员存在与进出，考虑排气量及外气补充量。根据模拟结果得知，在薄膜上方之流场是很平顺流畅地往B 区排风口流动，而在薄膜下方之流场，有较大之流场变化的位置则有：

(1)在薄膜与机台中间空隙距離，因为此距離会造成气簾效应，而使得气流上下旋 转。

(2)在地板回风口中间处，因为地板回风口中间，较少左右风量來源，而变成气流 旋转，此现象離地板越近越明显，但是靠近薄膜则此现象则变小，较不明显。

1. 研究目的

    无尘室的主要目的为维持室室内的温湿度、压力、流场、振动、噪音、照明等。因此，无尘室的空 调系统对产品设计、制程、良率及可靠性有很大的影响。新竹科学园区、南部科学园区的兴建及国内产 业结构的大幅改变，导致国内对无尘室的需求大增，如许多的GMP 药厂、高精密的电子厂及医院的手术 室的增加而日益增加。 FFU(Fan Filter Unit)为风机加上过滤器(HEPA)所构成的送风组件，如图1 所示之结构图[1]。空气藉 由離心式风扇吸入后，在风道将其动压转换为静压，使空气经过HEPA Filter 后能够均匀吹出，并使得噪 音降低。其优点如下：

1. 模块化施工，机动性高，容易作FFU 日后的增减;

2. FFU 空气循环系统压损 小;

3. FFU 耗电量少，相对的噪音也低，不像轴流式风机进出口需加装消音器;

4. 洁净室内压力高于天花 板内供气压力，更换虑网时不会有尘埃泄漏至洁净室之虞。

     本文针对FFU(Fan Filter Unit)乱流型无尘室进行分析，模拟之无尘室只有制程设备，无人员存在与 进出，考虑排气量及外气补充量，而对无尘室进行内部气流模拟分析比较。

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